田园女匪：高冷王爷求庇佑

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他俯身从作业台上捡起一块泛着金属光泽的板材，王爷屈指轻弹，洪亮的嗡鸣声在车间回旋。

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可是，女匪因为BARC的填充，后续沟槽蚀刻进程中通孔内或许残留BARC，这是先通孔技能的一个固有缺点。电镀铜工艺与低k介质具有杰出的工艺兼容性，高冷一般构成(111)方向的织构，有利于进步电导率。

图18：王爷通孔光刻(5)经过通孔刻蚀并去除PR和BARC，得到包含沟槽与通孔的结构，如图19所示。钉（Ru）因其对铜具有更优异的黏附性，求庇被视为完结直接电镀的潜在候选资料。